在所有的伺服系統(tǒng)中(包括電伺服、液壓伺服、氣動(dòng)伺服、電液壓伺服、氣液壓伺服、浮球液位計(jì)等)，電液伺服系統(tǒng)的質(zhì)量最高，品質(zhì)最好。原因是它集中了電氣輸入訊號(hào)和反坡訊號(hào)的靈活性、快速性和液壓執(zhí)行元件(液壓馬達(dá)、油缸)的小慣量等優(yōu)點(diǎn)，使電液伺服系統(tǒng)能達(dá)到的精度和快速性為最高。特別是系統(tǒng)為大功率時(shí)，這個(gè)優(yōu)點(diǎn)更為突出。
電液伺服系統(tǒng)雖然具有上述優(yōu)越性，但是在發(fā)展這種系統(tǒng)時(shí)碰到的一個(gè)困難是電和液壓之間的轉(zhuǎn)換元件—電液伺服閥是比較復(fù)雜的，從而限制了電液伺服系統(tǒng)發(fā)展的進(jìn)程。在國外，一九四0年年底，首先在飛機(jī)上出現(xiàn)了電液伺服系統(tǒng)，以提高伺服系統(tǒng)的精度和快速性。但在那種磁翻板液位計(jì)系統(tǒng)中，滑閥是由一個(gè)伺服電機(jī)拖動(dòng)的，而電機(jī)的慣性又往往是整個(gè)閉環(huán)系統(tǒng)中最慢的環(huán)節(jié)。直到五十年代初，出現(xiàn)了快速反應(yīng)的永磁力矩馬達(dá)，才形成電液伺服閱的雛形。五十年代末，又出現(xiàn)了噴嘴擋板閥做第一級(jí)的伺服閥，進(jìn)一步提高了電液伺服閥的快速性。六十年代又解決了油液中金屬小顆粒被吸附在磁氣隙中的難題—干式力矩馬達(dá)出現(xiàn)。電液伺服閥廣泛地用于工業(yè)中，在各資本主義國家也僅僅是幾年以前的事情。由于電液伺服閥集中了電、磁、機(jī)械、液壓的矛盾，所以制造和調(diào)試比較困難。
我國人民遵循毛主席的“獨(dú)立自主，自力更生”的教導(dǎo)，在六十年代中迎頭趕_L，研究并試制成功了DY系列電液伺服閥。在此基礎(chǔ)上。我所于一九七二年又試制成功并投入生產(chǎn)了自行設(shè)計(jì)的QDY系列電液伺服閥。其性能指標(biāo)已進(jìn)入世界優(yōu)秀電液伺服閥的行列。
機(jī)械位置反饋式結(jié)構(gòu)的第一級(jí)閥套是可以滑動(dòng)的，它和主閥級(jí)是以剛性杠桿相連。機(jī)械力反懊式的閥套是固定的，主閥芯和第一級(jí)閥芯用彈性元件相連。假如第一級(jí)是噴嘴擋板閥，則主閥芯和擋板用彈性元件相連。機(jī)械力反饋的閥輸出量線性最好，受供油壓力和加速度影響最小。在電氣反饋式結(jié)構(gòu)中，主閥的位置用直線式差動(dòng)變壓器或其他位移傳感器反懊到閥外的放大器線路上去。由于放大器增益很容易調(diào)節(jié)，在某些系統(tǒng)中，或大流量閥中往往采用這種反饋形式。直接反饋式結(jié)構(gòu)中，主閥的動(dòng)作和擋板一致，即主閥是跟隨擋板動(dòng)作的，所以也叫液壓跟隨器。位置比例式結(jié)構(gòu)中，閥芯的位置由它兩端的壓差和彈簧力平衡而定，這種閥的流量特性的線性度最差。這五種結(jié)構(gòu)中，以機(jī)械位置反饋和擴(kuò)散硅壓力變送器位置比例式發(fā)展最早，但是后來發(fā)展的機(jī)械力反饋式和直接反憤式逐漸淘汰了上述兩種結(jié)構(gòu)。原因是后兩種結(jié)構(gòu)都比較簡單，性能穩(wěn)定，動(dòng)態(tài)品質(zhì)優(yōu)良。美國PEGASUS公司生產(chǎn)的是直接反饋式。MOOG公司生產(chǎn)的是機(jī)械力反恢式。
第四種分類法是按力矩馬達(dá)是否浸泡在油中而分的。濕式是老式的閥，缺點(diǎn)是力矩馬達(dá)浸抱在油中，使油中的鐵粉(髻如說機(jī)件磨損產(chǎn)生鐵粉)逐漸吸附在力矩馬達(dá)的磁氣隙中而使零點(diǎn)變動(dòng)。干式閥是閥的前半部不受油液污染的影響，是保證長期使用時(shí)性能穩(wěn)定性的途徑。
上述的分類法當(dāng)然遠(yuǎn)不能包括所有流量計(jì)結(jié)構(gòu)，例如力矩馬達(dá)又可分為直線式和旋轉(zhuǎn)式的，雙噴嘴閥又可分為對(duì)稱式和并列式的等，在此就不再一一細(xì)分了。
從上面的閥的分類也可以看出現(xiàn)代電液伺服閥的結(jié)構(gòu)概況。為了便于比較和參考，現(xiàn)將我所生產(chǎn)的QDY伺服閥和世界各國具有代表性的閥的性能列于表2。從表中可以看出，我國生產(chǎn)的電液伺服閥性能居于優(yōu)秀者之列。動(dòng)態(tài)指標(biāo)高，而且解決了最難于控制的溫度零點(diǎn)飄移問題。
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