磁翻板液位計(jì)微執(zhí)行器的主要特點(diǎn)
從直觀上看，微執(zhí)行器的功能和一般執(zhí)行器非常類似.它僅僅是一般執(zhí)行器在幾何尺寸上的縮小.其實(shí)不然，這是由于當(dāng)微執(zhí)行器的特征尺寸一旦小到微米或納米數(shù)量級(jí)后.某些傳統(tǒng)機(jī)械的物理特性有可能不再適用.使得兩者之間在加工方法、設(shè)計(jì)思想、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、材料選擇、直至基本機(jī)理等方面均有很大區(qū)別.再由干微執(zhí)行器的種類縈多，涉及面很廣。是一門多學(xué)科的綜合交又技術(shù)。它涉及到微電子學(xué)、微機(jī)械學(xué)、微動(dòng)力學(xué)、微摩擦學(xué)、材料學(xué)及微熱力學(xué)等多種學(xué)科。這給浮球液位計(jì)微執(zhí)行器的開(kāi)發(fā)研制增加了許多困難.并引發(fā)出許多技術(shù)的不斷創(chuàng)新。再者，由于微小尺寸效應(yīng)，使得宏觀世界的許多知識(shí)與法則不再適用.這又引起了設(shè)計(jì)思想和加工工藝的創(chuàng)新，并引出了許多值得深人研究的新課題.諸如:
1)摩擦和磨損許多執(zhí)行器中往往都存在著運(yùn)動(dòng)部件，必然要產(chǎn)生相對(duì)摩擦和磨損。例如.馬達(dá)是自動(dòng)控制系統(tǒng)中最常見(jiàn)的執(zhí)行器之一其應(yīng)用范圍遍及各個(gè)領(lǐng)域。在一般的馬達(dá)中，機(jī)械摩擦損耗僅占其總拍出功率的百分之幾甚至更小。而在直徑僅為1-2 mm，高度不到1 mm的電磁型微馬達(dá)中.由于它所產(chǎn)生的電磁轉(zhuǎn)矩很小，僅在5N"m數(shù)量級(jí)。機(jī)械雌擦損耗所占的比例就很大.甚至它所產(chǎn)生的電磁轉(zhuǎn)矩不足以克服機(jī)械摩擦，從而使得該微馬達(dá)不能正常運(yùn)行.而許多傳統(tǒng)的減少摩擦的有效方法(如安裝滾珠軸承，加潤(rùn)滑油等)又往往不適用于微馬達(dá).深人研究結(jié)果表明:當(dāng)微執(zhí)行器中運(yùn)動(dòng)部件的幾何尺寸小到納米數(shù)量級(jí)時(shí)，原有宏觀摩擦學(xué)中的一些基本規(guī)律將不再適用。于是防腐液位計(jì)出現(xiàn)了微觀摩擦學(xué)。雖然目前微執(zhí)行器中的運(yùn)動(dòng)部件的幾何尺寸一般均在徽米數(shù)量級(jí)井至更大.還不屬于微觀摩擦學(xué)范疇.但隨著微執(zhí)行器幾何尺寸的不斷減小，F(xiàn)擦對(duì)其輸出力矩的影響將越來(lái)越大。為了提高微執(zhí)行器的工作效率和品質(zhì)。對(duì)共中的摩擦和磨損問(wèn)題還是值得高度重視，并需要開(kāi)展深入研究的.
2)加工制造工藝隨著執(zhí)行器體積的不斷減小.在加工制造工藝方面.許多傳統(tǒng)的機(jī)械加工工藝(如車、恍、鍛、鑄等)己不能完全勝任。需要借助于現(xiàn)代微電子工業(yè)中的微細(xì)加工技術(shù)、組封裝技術(shù)邪超情密裝配技術(shù)來(lái)完成。微制造技術(shù)是制造尺寸為亞毫米到納米數(shù)量級(jí)的微小器件的重要加工方法，因此也是研究開(kāi)發(fā)微執(zhí)行器的工藝基礎(chǔ)。例如在直徑僅為3 mm的電磁型微馬達(dá)中的定子繞組就無(wú)法采用傳統(tǒng)繞制工藝，而只能借助于徽細(xì)加工工藝來(lái)完成。
3)多學(xué)科交叉微執(zhí)行器的發(fā)展歷史很短.至今僅數(shù)十年時(shí)間。但玻璃管液位計(jì)開(kāi)發(fā)和研究所涉及的面很廣，是多學(xué)科前沿的綜合交叉，IL加工工藝復(fù)雜.加工設(shè)備先進(jìn)，圖1一4顯示了它的設(shè)計(jì)、加工所涉及的學(xué)科和基本工藝流程.
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