傳感器是測試儀器不可缺少的感知器件。傳感器是測試儀器的眼睛、鼻子、耳朵、皮膚、舌頭,是探測外部微弱信號的感知器官,它是現(xiàn)代檢側(cè)、控制的重要組成郊分。山于電子技術(shù)的不斷進步,計算機技術(shù)的飛速發(fā)展,促進傳感器技術(shù)日新月異地推1’一使用,因此它在科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域中的重要地位越來越突出.已經(jīng)成為一門新興的科學(xué)技術(shù)。
傳感器按其結(jié)構(gòu)原理來分,大致分為三類:
結(jié)構(gòu)型傳感器。大多數(shù)是通過結(jié)構(gòu)部分的位移,將被測參數(shù)轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電阻、電感、電容等變化,從而檢測出被測量。這是目前應(yīng)用最多、最普遍的傳感器。
物性型傳感器。它是利用某些材料本身的物玻璃管液位計性變化來實現(xiàn)被測量的變換,其主要是以半異體、電介質(zhì)、磁性體等作為敏感材料的固態(tài)器件。這些器件具有靈敏度高、質(zhì)啞輕、體積小、便于集成等優(yōu)點。它減少r對被測對象的影響,提高r響應(yīng)速度,能解決常規(guī)結(jié)構(gòu)型傳感器不能解決的某些特殊參數(shù)及一作接觸測It問題,從而大大擴展了傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域。
智能型傳感器。‘亡是一種帶有微處理器的、兼有檢淵信息‘j信息處理功能的傳感器。在半導(dǎo)體基片上,采用微電子加工技術(shù)把傳感器功能、邏輯功能、存儲功能集成在一起.使傳感器具有自動校正、自動補償并進行數(shù)字處理、圖像識別、存儲、記憶等功能。傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域日益廣泛,主要應(yīng)用在交通運輸、工業(yè)測量控制、醫(yī)療設(shè)備、防火安全技術(shù)、動力資源開發(fā)、糧食生產(chǎn)加工、公害防治、機械制造加工、科學(xué)計量測試、信息通信處理等領(lǐng)域。
傳感器的檢測參數(shù)以機械量為最多.其次是光學(xué)量、化學(xué)雙法蘭液位計量、溫度、生物量、濕度等。傳感器的依據(jù)是各種轉(zhuǎn)變功能,其中與物理有關(guān)的占大多數(shù):光電效應(yīng)、光導(dǎo)電效應(yīng)為代表的光電變換功能最為引人注目,其次是壓電變換、熱電變換和磁電變換。上述四種變換功能占了一大半以上。
目前應(yīng)用最多的是結(jié)構(gòu)型傳感器,例如力平衡式、電容式、電感式、振弦式等傳感器來測最壓力、位移、流量、溫度等。隨著新型材料的開發(fā),相關(guān)技術(shù)的應(yīng)用以及制造工藝的改進,傳感器技術(shù)的發(fā)展具有以下特點:
(1)固態(tài)能。目前發(fā)展最快的固態(tài)物性傳感器,主要是半導(dǎo)體、電介質(zhì)和強磁體三類。
(2)多功能、集成化。隨著傳感器應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴大,借助于半導(dǎo)體的蒸鍍技術(shù)、擴散技術(shù)、光刻技術(shù)、精密細微加工以及組裝技術(shù)等,使傳感器已從單一元件、單一功能向多功能、集成化方向發(fā)展。所謂多功能化就是使傳感器具有多種參數(shù)檢測功能,而集成化就是把傳感器部分與信息處理或轉(zhuǎn)換部分及電源等利用半導(dǎo)體技術(shù)制作在同一芯片上。
(3)向圖像傳感器方向發(fā)展。目前已孔板流量計研制出了各種二維圖像傳感器,例如CCD固態(tài)攝像器件BBII)及MOSID攝像器件等。
(4)智能化。利用大規(guī)模集成電路技術(shù),使傳感器與后面的信號處理部分等組合在一起以強化傳感器功能,如可以自我診斷、非線性誤差補償、數(shù)字化運算、信息處理、改變軟件即可實現(xiàn)功能的擴展等,進一步使傳感器具有視、嗅、觸、聽覺以及存儲、思維功能。
(5)光學(xué)化。應(yīng)用微光電技術(shù),用于信息的接收、顯示、信號的轉(zhuǎn)換和遠距離傳輸。
世界上傳感器的種類有20000余種,在這里只對部分新型傳感器作一些介紹。
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